फोटोरेसिस्ट का अवलोकन
फोटोरेसिस्ट, जिसे फोटोरेसिस्ट के नाम से भी जाना जाता है, एक पतली फिल्म सामग्री को संदर्भित करता है जिसकी घुलनशीलता यूवी प्रकाश, इलेक्ट्रॉन बीम, आयन बीम, एक्स-रे या अन्य विकिरण के संपर्क में आने पर बदल जाती है।
इसमें एक रेज़िन, एक फोटोइनिशिएटर, एक विलायक, एक मोनोमर और अन्य योजक पदार्थ शामिल होते हैं (तालिका 1 देखें)। फोटोरेसिस्ट रेज़िन और फोटोइनिशिएटर फोटोरेसिस्ट के प्रदर्शन को प्रभावित करने वाले सबसे महत्वपूर्ण घटक हैं। इसका उपयोग फोटोलिथोग्राफी प्रक्रिया के दौरान संक्षारण रोधी परत के रूप में किया जाता है।
सेमीकंडक्टर सतहों को संसाधित करते समय, उपयुक्त रूप से चयनात्मक फोटोरेसिस्ट का उपयोग करके सतह पर वांछित छवि बनाई जा सकती है।
तालिका नंबर एक।
| फोटोरेसिस्ट सामग्री | प्रदर्शन |
| विलायक | यह फोटोरेसिस्ट को तरल और वाष्पशील बना देता है, और फोटोरेसिस्ट के रासायनिक गुणों पर इसका लगभग कोई प्रभाव नहीं पड़ता है। |
| फोटोइनिशिएटर | इसे फोटोसेंसिटाइज़र या फोटोक्योरिंग एजेंट के रूप में भी जाना जाता है, यह फोटोरेसिस्ट सामग्री में प्रकाश-संवेदनशील घटक है। यह एक प्रकार का यौगिक है जो एक निश्चित तरंगदैर्ध्य की पराबैंगनी या दृश्य प्रकाश ऊर्जा को अवशोषित करने के बाद मुक्त कणों या धनायनों में विघटित हो सकता है और मोनोमर्स में रासायनिक क्रॉस-लिंकिंग प्रतिक्रियाओं को प्रारंभ कर सकता है। |
| राल | यह अक्रिय पॉलिमर है, और फोटोरेसिस्ट में विभिन्न सामग्रियों को एक साथ बांधने का काम करता है, जिससे फोटोरेसिस्ट को उसके यांत्रिक और रासायनिक गुण प्राप्त होते हैं। |
| मोनोमर | इसे सक्रिय तनुकारक के रूप में भी जाना जाता है, ये छोटे अणु होते हैं जिनमें बहुलकीकरण योग्य कार्यात्मक समूह होते हैं और ये कम आणविक भार वाले यौगिक होते हैं जो उच्च आणविक भार वाले रेजिन बनाने के लिए बहुलकीकरण प्रतिक्रियाओं में भाग ले सकते हैं। |
| additive | इसका उपयोग फोटोरेसिस्ट के विशिष्ट रासायनिक गुणों को नियंत्रित करने के लिए किया जाता है। |
फोटोरेसिस्ट को उनके द्वारा निर्मित छवि के आधार पर दो मुख्य श्रेणियों में वर्गीकृत किया जाता है: सकारात्मक और नकारात्मक। फोटोरेसिस्ट प्रक्रिया के दौरान, एक्सपोज़र और डेवलपमेंट के बाद, कोटिंग के एक्सपोज़्ड हिस्से घुल जाते हैं, जिससे अनएक्सपोज़्ड हिस्से बच जाते हैं। इस कोटिंग को सकारात्मक फोटोरेसिस्ट माना जाता है। यदि एक्सपोज़्ड हिस्से बचे रहते हैं जबकि अनएक्सपोज़्ड हिस्से घुल जाते हैं, तो कोटिंग को नकारात्मक फोटोरेसिस्ट माना जाता है। एक्सपोज़र प्रकाश स्रोत और विकिरण स्रोत के आधार पर, फोटोरेसिस्ट को आगे यूवी (सकारात्मक और नकारात्मक यूवी फोटोरेसिस्ट सहित), डीप यूवी (डीयूवी) फोटोरेसिस्ट, एक्स-रे फोटोरेसिस्ट, इलेक्ट्रॉन बीम फोटोरेसिस्ट और आयन बीम फोटोरेसिस्ट में वर्गीकृत किया जाता है।
फोटोरेसिस्ट का उपयोग मुख्य रूप से डिस्प्ले पैनल, इंटीग्रेटेड सर्किट और डिस्क्रीट सेमीकंडक्टर उपकरणों में सूक्ष्म पैटर्न के निर्माण में किया जाता है। फोटोरेसिस्ट की उत्पादन तकनीक जटिल है, जिसमें विभिन्न प्रकार के उत्पाद और विशिष्टताएँ शामिल हैं। इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग में इंटीग्रेटेड सर्किट निर्माण के लिए उपयोग किए जाने वाले फोटोरेसिस्ट पर कड़े मानक लागू होते हैं।
फोटोक्योर करने योग्य रेजिन के उत्पादन और विकास में विशेषज्ञता रखने वाली 20 वर्षों के अनुभव वाली निर्माता कंपनी एवर रे, 20,000 टन की वार्षिक उत्पादन क्षमता, व्यापक उत्पाद श्रृंखला और उत्पादों को अनुकूलित करने की क्षमता का दावा करती है। फोटोरेसिस्ट में, एवर रे का मुख्य घटक 17501 रेजिन है।
